噴涂和烘干設(shè)備時(shí)以及在集成電路和電子元件的制造領(lǐng)域中采用化學(xué)氣相淀積 (CVD)技術(shù)時(shí)，其產(chǎn)生的工藝廢氣對(duì)人體是有害的，在高溫下與空氣接觸時(shí)容易自燃，甚至常溫下與空氣或者氧化劑接觸時(shí)也可能產(chǎn)生自燃，這種工藝廢氣主要是硅烷及氨氯等。

 —般采用焚燒法來處理這些工藝廢氣，但是現(xiàn)有的燃燒裝置在工藝廢氣燃燒后所產(chǎn)生稠密的二氧化硅濃煙煙灰容易隨氣體一起從排氣管排入空氣中，造成污染。

硅烷燃燒筒是處理硅烷、氨氣及其他可溶性氣體的廢氣凈化設(shè)備，主要用于處理太陽能電池生產(chǎn)線行業(yè)以及CVD化學(xué)氣相沉積工藝所產(chǎn)生的廢氣。

本產(chǎn)品采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼原料進(jìn)行制造，根據(jù)硅烷與空氣接觸而自燃的特點(diǎn)，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進(jìn)入燃燒塔噴淋室，經(jīng)過噴霧處理，使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應(yīng)，然后進(jìn)入脫液器脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)排入大氣。